Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Моде |
Назва: | Моделирование и расчет элементов и устройство технологического оборудования микроэлектроники |
Від. щодо назв.: |
Сборн. науч тр. |
Відповідальність: |
Министерство высшего и средн. спец. образ. СССР; Моск. ин-т электронной техники |
Місто: | Москва |
Рік: | 1985 |
Сторінок: | 119с. |
ББК: |
З2 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|