Розглянуто механізми утворення дефектів структури напівпровідників на прикладах виробництва декількох типів приладів із суттєво різною технологією їх виготовлення. Наведено результати досліджень впливу термічних градієнтів при виготовленні електронних приладів на процеси дефектоутворення.
The article deals with mechanisms to appearance of defects in the structure of semiconductors on the examples of certain types of devices with various technologies for their manufactory. Besides provided are the results of research of influence of thermic gradients at manufacture of electronic devices on defect causing processes.
