Досліджено вплив термічної обробки на структуру та механічні властивості нанокомпозитних тонких плівок на основі TiAlSiN. Показано, що в результаті термообробки твердість нанокомпозитів, збагачених алюмінієм, зростає (приблизно на 30 %) в той час, як величина твердості для матеріалів з більшим вмістом титану залишається практично незмінною. Цей факт пояснюється перетворенням ГЦК-фази AlN до гексагональної фази AlN.
