Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
152638 |
Автор: | Сєдін Є.О. |
Назва: | Розробка технології виробництва кремнієвих одношарових епітаксійних структур з покращеними структурними характеристиками |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 |
Відповідальність: |
Сєдін Євген Олександрович ; М-во освіти і науки, молоді та спорту України ; Кременчуцький нац. ун-т ім. М. Остроградського |
Місто: | Кременчук |
Рік: | 2012 |
Сторінок: | 20 с. |
ББК: |
З233-06+В379.251.47 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|