Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.16
Відповідальність:
Басовский Андрей Андреевич ; М-во высш. образования СССР ; Москов. ин-т электрон. техники