Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых СВЧ-приборов
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.07
Відповідальність:
Павленко Анатолий Алексеевич ; Киев. ун-т им. Тараса Шевченко