Опис документа:
| |
Шифр: |
53 |
Авт. знак: |
Ионн |
Назва: | Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах |
Від. щодо назв.: |
материалы 7 междунар. конф. |
Відповідальність: |
Янушкявичюс З.В. |
Видавництво: | МВССО ЛитССР |
Місто: | Вильнюс |
Рік: | 1985 |
Сторінок: | 360 с. |
ББК: |
В3 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді ФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4, четвертий поверх, кім. 400,402. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|