Коваль Ігор Пилипович

1947 р.н., доцент, завідувач кафедри

Закінчив радіофізичний факультет Київського університету в 1970 р. Був аспірантом денної форми навчання (1971-75 рр.). У 1985 р. захистив кандидатську дисертацію “Исследование состава и химической структуры кремния и его соединений методами электронной спектроскопии” (науковий керівник проф. Находкін М.Г.).

Працював молодшим науковим співробітником Проблемної лабораторії фізичної електроніки (1970-71 рр.). На кафедрі кріогенної та мікроелектроніки працює з моменту її заснування: аспірант, старший інженер, з 1976 р.- асистент, з 1987 р.- доцент, з 2004 р. – завідувач кафедри.

Читає лекційні курси: "Фізична електроніка", "Фізичні основи технології мікроелектроніки", "Телемедицина", "Сучасні методи діагностики поверхні", "Фізика поверхні". Веде практикум “ЕОМ експеримент та МОІ”.

Наукові інтереси зосереджені на вивченні фізики поверхні, взаємодії електронів середніх енергій з поверхнею твердого тіла. Разом із співавторами ним вперше було відкрито явище промотування окислення атомно-чистої поверхні кремнію субмоношаровими покриттями лужних металів. Було показано, що швидкість оксидування при наявності лужного металу підвищується на декілька порядків, що може бути використано для отримання надтонких шарів оксидів на поверхні кремнію. Так само було винайдено явище інгібування окислення поверхні кремнію субмоношаровими покриттями елементів 5-ї групи (Sb, Bi) при експозиціях у кисні менших за 103 L. Ці обидва явища в комплексі можна використовувати для вирощування наноструктур на поверхні напівпровідників. Досліджено процеси формування надтонких шарів сполук кремнію на поверхні кремнію при бомбардуванні поверхні Si іонами активних газів. На основі цих досліджень може бути розвинута технологія створення надтонких шарів сполук кремнію з контрольованою стехіометрією. Започатковано напрям моделювання адсорбційних явищ на поверхні твердого тіла та, зокрема, напівпровідників, що базується на напівемпіричних та ab initio квантовохімічних розрахунках.

Є науковим керівником держбюджетних та госпдоговірних робіт.

Він є автором 96 наукових праць, серед яких 2 монографії (Коваль И.Ф., Лысенко В.Н., Мельник П.В., Находкин Н.Г. «Атлас ионизационных спектров» под ред., д.ф.м.н. Находкина Н.Г.- К.: Выща школа. 1989, - 232 с.; “Ионизационная спектроскопия”, 1992 (під ред. Находкіна М.Г.).